众多灭菌器中，低温等离子过氧化氢灭菌器之所以能够得到广泛应用，主要是由于它与其它种类的灭菌设备相比，具有很多优势。低温等离子过氧化氢灭菌器也凭借着这些优势，赢得众多用户的认可。虽然，随着社会的快速发展，认识及了解低温等离子过氧化氢灭菌器的人在不断增多，但依然有一部分人并不是太了解，针对于这样的情况，将主要针对于低温等离子过氧化氢灭菌器的灭菌原理进行总结及讲解。
低温等离子过氧化氢灭菌器主要是通过含氧的等离子体工作物质被充填或汽化扩散至容器内整个空间后，当容器器壁与位于容器中心轴线上的金属冷却电极之间加上高频电压后，扩散在容器中的等离子体工作物质在高频电场的作用下，其中一部分被解离为带电粒子，形成等离子体、羟自由基以及紫外线，对细菌或病毒产生强烈的相互作用，并由此构成了对细菌或病毒的杀灭环境，特别是羟自由基可以同几乎所有能形成有生命细胞的分子起反应，根据分子生物学的观点，细菌和病毒是带电的，正常细胞膜上的电荷有助于细胞对营养物质的吸收，但是当细菌或病毒细胞受到带电例子的作用时，其上的电荷分布受到破坏，就直接影响细菌或病毒细胞的生理活动和新陈代谢，导致死亡。
